真空泵真空度達不到是常見故障，核心原因集中在進氣泄漏、泵體故障、油液問題或系統配置不當四大類，具體可按以下方向排查：

一、最常見：系統存在進氣泄漏

1. 管路 / 接口密封失效：密封圈老化、破損，或接頭未擰緊，導致空氣從縫隙滲入。

2. 容器 / 腔體漏氣：測試腔體、閥門密封面有劃痕、污漬，或艙門未關緊，無法形成密閉空間。

3. 配件破損：真空管開裂、法蘭密封不良，尤其長期使用后易出現磨損漏點。
   
   

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二、泵體自身故障

1. 泵內零件磨損：轉子、葉片、軸承等部件磨損嚴重，導致壓縮效率下降，無法有效抽除空氣。

2. 泵腔

   異物 / 結垢：雜質進入泵腔造成卡滯，或長期使用后內部結垢，影響真空形成。

3. 閥門故障：進氣閥、排氣閥堵塞或關閉不嚴，導致氣體回流，無法維持真空度。

三、油液相關問題（針對油潤滑真空泵）

1. 油液量不足 / 變質：真空泵油液位低于標準線，或油液因污染、氧化失效，無法起到密封和潤滑作用。

2. 油液型號不符：使用的真空泵油粘度、耐溫性不匹配，導致密封效果差，真空度上不去。

四、系統配置或操作不當

1. 泵型選型偏小：真空泵抽速與系統容積不匹配，抽氣能力不足，無法達到目標真空度。

2. 前級泵未正常工作：多級真空系統中，前級泵故障或未開啟，導致主泵無法發揮作用。

3. 操作流程錯誤：未按規定排空氣、預熱，或抽氣時間不足，系統內殘留空氣未排出。